蔡司掃描電鏡EBSD結合EDS更好區分類似結構

　　在某些情況下，相的晶體結構非常相似類似，單獨使用EBSD不能將其區分。在材料科學和地質應用中都遇到過這種情況，下麵的例子是區分糜棱岩化變泥質岩樣品中的黑雲母和白雲母。

　　樣品的這個區域包含3種礦物相：鈉長石、黑雲母和白雲母。黑雲母和白雲母具有非常相似的晶體結構，因此基於傳統EBSD很難區分。

　　(a) 樣品分析區域的前散射圖像(FSD);

　　(b) EDS元素分布圖。在鈉長石中鈉的濃度最高
，在白雲母中Al的濃度最高
，黑雲母中Fe的濃度最高;

　　(c) 使用傳統的EBSD方法獲得的相分布圖(左)。由於白雲母和黑雲母具有相似的晶體結構，很難被區分，導致他們以隨機點出現。在Aztec係統中用TruPhase功能獲得的相分布圖(右)，同時采集EDS數據，以幫助EBSD解析花樣。這種方法成功區分了樣品中的白雲母和黑雲母。

　　在這些情況下，用EDS和EBSD信號區分相可在麵分布掃描的同時進行，結合這兩種信號可以成功區分樣品中的物相。

　　然而
，這需要同時采集EDS和EBSD數據
，而且需保證兩者采集的數據是同步的。

　　即使在沒有需區分相的問題情況下，同時采集EDS和EBSD數據也是有優勢的。通過化學和結構信息可以很容易驗證數據，確保沒有遺漏或誤標相。Aztec係統還可以離線鑒別樣品中的相

，利用分析設置參數，重新分析數據集。