產品詳情
模塊化的 SEM 平台適用於直觀操作、例行檢測和研究應用
EVO係列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界麵體驗結合在一起， 同時能夠吸引經驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學， 材料科學， 或例行的工業質量保證和失效分析領域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據您的要求量身定製。
顯微鏡中心或工業質量保證實驗室的多功能解決方案
不同的真空室大小和可滿足所有應用要求的載物台選項-甚至是大型工業零部件樣品
使用LaB6燈絲，能夠得到優異的圖像質量
對不導電和無導電塗層的樣品的成像和分析性能出色
可以配置多種分析探測器用於滿足各種顯微分析應用的需求
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控製。它簡單易學， 大(da)大(da)減(jian)少(shao)了(le)培(pei)訓(xun)所(suo)付(fu)出(chu)的(de)努(nu)力(li)和(he)成(cheng)本(ben)，甚(shen)至(zhi)新(xin)用(yong)戶(hu)在(zai)幾(ji)分(fen)鍾(zhong)內(nei)也(ye)能(neng)夠(gou)捕(bu)捉(zhuo)令(ling)人(ren)驚(jing)歎(tan)的(de)圖(tu)像(xiang)。此(ci)用(yong)戶(hu)界(jie)麵(mian)還(hai)支(zhi)持(chi)需(xu)要(yao)自(zi)動(dong)化(hua)工(gong)作(zuo)流(liu)程(cheng)以(yi)執(zhi)行(xing)可(ke)重(zhong)複(fu)檢(jian)查(zha)任(ren)務(wu)的(de)工(gong)業(ye)操(cao)作(zuo)員(yuan)。 |  優異的圖像質量
EVO 擅長於對未經處理和沒有導電塗層的樣品獲取高質量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態， 維持含水和重汙染樣品的數據質量。此外當成像和微量分析麵臨挑戰時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
|  EVO 能夠與其它設備相關聯
EVO可以作為半自動、多duo模mo式shi工gong作zuo流liu程cheng的de一yi部bu分fen，通tong過guo重zhong新xin定ding位wei感gan興xing趣qu區qu域yu，並bing以yi多duo種zhong方fang式shi收shou集ji數shu據ju，形xing成cheng信xin息xi的de完wan整zheng性xing。將jiang光guang學xue和he電dian子zi顯xian微wei鏡jing圖tu像xiang合he並bing起qi來lai進jin行xing材cai料liao表biao征zheng或huo零ling件jian檢jian驗yan，或huo者zhe將jiang EVO 與蔡司光學顯微鏡相關聯，進行關聯顆粒度分析。 |
適合更多用戶操作
對於經驗豐富的以及新手用戶操作都很方便
在實際的實驗室環境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領域。但是對於非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰，比如學生、受訓者或質量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數據。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求，用戶界麵選項既能滿足有經驗的顯微鏡專家也能滿足非專業用戶的操作需要。
蔡司EVO應用案例：製造與裝配工業
典型任務與應用
■質量分析1質量控製
■失效分析/金相研究
■清潔度檢驗
■對顆粒進行形態和化學分析，以符合ISO 16232 和VDA 19 part 182的標準
■非金屬夾雜物分析
蔡司EVO的優點
■通過三種不同規格的樣品室提高樣品靈活性;更大樣品重量可達5kg;樣品的高度和寬度分別可達210 mm和300 mm
■智能成像和自動化工作流程可以實現高效的用戶交互
■針對每類樣品優化設置
■適用於非導電複合材料、纖維、聚合物和織物成像的可變壓力(VP) 技術
■使用C2D二次電子探測器完成可變壓力成像，以提高數據質量
■用於形貌與化學分析的全集成式顆粒分析和識別解決方案(SmartPI)
蔡司EVO應用案例：鋼和其它金屬
典型任務與應用
■結構的成像和分析，金屬樣品和夾雜物的化學特性與晶體結構
■相、顆粒度、焊點和失效分析
蔡司EVO的優點
使用EVO性能出眾的背散射電子(BSE)探測器獲取鐵素體鋼、奧氏體鋼、馬氏體鋼或二聯鋼和合金的清晰組分與晶體信息。
充分利用易操作的樣品室門和穩固耐用的樣品台來加裝拉力試驗機、納米壓痕儀和加熱模塊，以實現金屬樣品的精細表征。
EVO出色的EDS幾何設計可用於完成高作業量、高精度的X射線分析。此外，其靈活的端口配置能為EBSD創建共麵幾何結構,用以進行晶界、相識別及應變與滑移係統活動的微觀結構表征。
出色的光束穩定性可用於在大麵積樣品上進行長時間EDS和EBSD采集，以確保始終如一地提供可靠且可重複的結果。
蔡司EVO應用案例：半導體與電子元器件
典型任務與應用
■電子元器件、集成電路、MEMS裝置和太陽能電池的光學檢測
■銅線表麵和晶體結構檢測
■金屬腐蝕檢測
■橫截麵失效分析
■焊腳檢測
■電容器表麵成像
蔡司EVO的優點
BSE和C2D等一係列探測器，可在VP模式下對半導體材料進行超高襯度形貌和組分成像，無充電假象。
可選的電子束減速係統能夠在更低加速電壓下提供超高分辨率，允許您觀察太陽能電池和集成電路的真實表麵細節。
EVO的靈活性使其可以運用大量第三方的測量與分析模塊，包括EBIC和納米探針，用以進行p-n結表征和集成電路失效分析。
蔡司EVO應用案例:材料科學研究
典型任務與應用
■在研究應用中表征導電和非導電材料樣品
蔡司EVO的優點
EVO可用於安裝一係列成像探測器。在裝備SE和BSE探測器、束流減速裝置及共麵EDS和EBSD幾何結構後，EVO將成為一-款靈活的材料分析用研究工具。
快速簡便地在高真空和可變壓力模式之間進行切換，進行導電和非導電樣品檢測。
先進的蔡司探測器技術，包括級聯電流探測器(C2D)和擴展級聯電流探測器(C2DX),可在擴展壓力模式和水蒸氣環境下操作，完成聚合物、塑料、纖維和複合物的出色成像。
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