蔡司掃描電鏡">蔡司掃描電子顯微鏡sigma係列簡明操作指南

　　一、 開機說明

　　冷啟動步驟

　　1
、啟動UPS

　　打開牆上空氣開關，確認UPS後麵電池開關打開，按前麵麵板上On鍵至兩個綠燈亮。

　　2、啟動循環水冷機。

　　按On鍵
，確認水泵1和製冷指示燈亮。

　　檢查出水口壓力在2~3bar。出水口壓力可由壓力表下方閥門調節。

　　若有報警，檢查水位，按Res鍵。

　　3、啟動空氣壓縮機。.

　　確認空氣壓縮機上啟動閥門上開關為“1”狀態。檢查輸出氣壓為5~ 6bar.

　　4、確認主機後兩個電源開關狀態為On.

　　此時，主機前麵板上紅燈亮。

　　5、按下黃鍵。.

　　說明:前級真空泵進入工作狀態，分子泵
、潘寧計和離子泵自動順序啟動。

　　6、按下綠鍵。

　　按下綠鍵後，電腦會自動啟動，輸入計算機密碼: .

　　7、啟動SmartSEM軟件。

　　用戶名: system

　　密碼:

　　8、檢查真空值，等待真空就緒。

　　△注意:當System Vacuum<2X 10'mBar時

，會自動打開CIV閥門(column isolation valve),並啟動離子泵。

　　當Gun Vacuum=<5 X 10^mBar時
，可啟動燈絲。若長期停機

，需做烘烤。

　　9、開啟燈絲。

　　10、開Tv,檢查樣品台。

　　11、裝樣品(見第二部分)。

　　12、加高壓(EHT)。

　　13、觀察樣品。

　　待機狀態

　　1、關閉高壓(EHT)。 .

　　2、關閉SmartSEM軟件。

　　注意:分兩步
，先關用戶界麵User Interface,後關後台程序EM Server.

　　3、關Windows。

　　4
、必要時，關能譜、EBSD.

　　5、按下黃鍵

　　此時
，電子光學係統、樣品台及檢測係統電源關閉。電鏡真空係統和燈絲繼續工作。

　　待機狀態啟動

　　1、按下綠鍵。

　　按下綠鍵後
，電腦會自動啟動
，輸入計算機密碼:

　　2、啟動SmartSEM軟件。

　　用戶名: system

　　密碼:

　　3
、檢查真空值。

　　4、換樣或加高壓觀察樣品。

　　關機步驟

　　1、關高壓(EHT)和燈絲。

　　2

、關SmartSEM軟件。

　　注意:分兩步，先關用戶界麵User Interface

，後關後台程序EM Server.

　　3、關Windows.

　　4、關能譜
、EBSD.

　　5、按下黃鍵，等待~10秒鍾。

　　等待電子光學係統、樣品台及檢測係統電源關閉。

　　6、按下紅鍵。

　　7、關循環水冷機。

　　8、必要時，關氮氣總閥門。

　　9、必要時
，關UPS.

　　10、必要時，關牆上空氣開關。

　　烘烤步驟

　　1、確認高壓(EHT)和燈 絲關閉。

　　2、撥出高壓電線.

　　先鬆開四顆螺絲，拔出高壓頭。

　　3、打開監控軟件Gun Monitor.

　　設置監控Gun Vacuum和System Vacuum參數
，時間間隔1s。

　　4、開始烘烤

　　菜單欄Tools→go to panel→bakeout,打開Bakeout界麵
，設定加熱時間8~20h，冷卻時間設為2h，開始。

　　5、烘烤完成

　　結束後檢查槍真空值，-般小於1X 10°mBar.關閉Gun Monitor。插入高壓頭，鎖緊。