場發射掃描電鏡分熱場和冷場,共性是分辨率高。熱場的束流大些,適合進行分析,但維護成

　　本相對較高,維護要求高。冷場做表麵形貌觀測是適合的,相對而言維護成本低些,維護要求不算高。

　　冷場發射電子槍

　　優點:單色性好,分辨率高

　　缺點:電子槍束流不穩定,束流小,不適合做能譜分析,每天要做一次Flash

　　熱場發射電子槍

　　優點:電子束穩定,束流大

　　缺點:與冷場相比除了單色性和分辨率略差點外,其它找不出缺點。

　　熱場在總發射電流( Total emission current )最大探針電流( Maximum probe current )電子束噪聲( Beam noise 人發射電流漂移( Emission current drift)工作倥( Operating vacuum )陰極還原( Cathode regeneration )對外部影響的敏感性( Sensitivity to external influence )等方麵都具有一等的優勢。 這些參數直接影響電鏡的性能。在陰極半徑( Cathode radius入有效電子源半徑( Effective source radius )發射電流密度( Emission current density )標準亮度( Normalised brightness )等方麵，冷場發射略勝-籌。 這幾個參數總起來說就是冷場發射陰極的發射麵積較小
、能量集中,便於將電子束聚焦於-個很小的點,以提高分辨率。但是在現代的電鏡技術條件下,熱場發射電鏡通過采取各種有效措施,也能夠將電子束彙聚於-個理想的點,達到冷場發射電鏡的分辨率水平。

　　電子槍發射的電流強度很小,微安級別和納安級別,為防止氣體電離造成的大電流擊縞壓電源,都需要高真空環境。電子槍陰極都屬於耗材係列。