三坐標測量機的運動控製係統根據位置控製的原理，即是否有檢測反饋傳感器及其檢測部分，分為開環控製和閉環控製。

　　開環控製係統

　　如(ru)下(xia)圖(tu)所(suo)示(shi)，伺(si)服(fu)驅(qu)動(dong)器(qi)是(shi)開(kai)環(huan)的(de)，即(ji)沒(mei)有(you)檢(jian)測(ce)反(fan)饋(kui)裝(zhuang)置(zhi)。驅(qu)動(dong)電(dian)機(ji)一(yi)般(ban)采(cai)用(yong)步(bu)進(jin)電(dian)機(ji)。這(zhe)種(zhong)控(kong)製(zhi)方(fang)式(shi)的(de)最(zui)大(da)特(te)點(dian)是(shi)控(kong)製(zhi)方(fang)便(bian)
，結(jie)構(gou)簡(jian)單(dan)，價(jia)格(ge)低(di)廉(lian)。控(kong)製(zhi)係(xi)統(tong)發(fa)出(chu)的(de)位(wei)移(yi)指(zhi)令(ling)信(xin)號(hao)流(liu)是(shi)單(dan)向(xiang)的(de)，不(bu)存(cun)在(zai)穩(wen)定(ding)性(xing)問(wen)題(ti)
，但(dan)由於機械傳動誤差沒有經過反饋修正，位移精度一般不高。

　　閉環控製係統

　　在zai控kong製zhi係xi統tong中zhong，如ru果guo控kong製zhi裝zhuang置zhi對dui被bei控kong對dui象xiang施shi加jia控kong製zhi效xiao果guo，如ru果guo可ke以yi從cong被bei控kong量liang的de反fan饋kui信xin息xi中zhong獲huo取qu
，即ji根gen據ju實shi際ji輸shu入ru對dui控kong製zhi效xiao果guo進jin行xing修xiu正zheng，實shi現xian對dui被bei控kong對dui象xiang的de控kong製zhi。受shou控kong對dui象xiang。這zhe種zhong控kong製zhi原yuan理li稱cheng為wei反fan饋kui控kong製zhi原yuan理li。正zheng是shi因yin為wei反fan饋kui信xin息xi的de引yin入ru，整zheng個ge控kong製zhi過guo程cheng才cai變bian得de封feng閉bi。因yin此ci
，建jian立li在zai反fan饋kui原yuan理li上shang的de控kong製zhi係xi統tong稱cheng為wei閉bi環huan控kong製zhi係xi統tong。在zai閉bi環huan控kong製zhi係xi統tong中zhong，其qi控kong製zhi動dong作zuo的de依yi據ju是shi被bei控kong量liang與yu給gei定ding值zhi的de偏pian差cha。這zhe種zhong偏pian差cha是shi各ge種zhong實shi際ji幹gan擾rao造zao成cheng的de總zong“結果”。

　　因此，這類係統往往能夠同時抵抗多種擾動，對係統自身元件參數的波動不是很敏感。閉環控製係統的定義：任何輸出信號對控製功能有直接影響的係統。閉環控製係統具有以下突出特點： 1. 控製功能不是直接來自給定的輸入，而是係統的偏差信號。偏差產生對係統受控量的控製。 2
、係統被控量的反饋信息反過來影響係統的偏差信號，即控製效果的大小。

　　其qi位wei置zhi反fan饋kui采cai用yong光guang柵zha等deng檢jian測ce元yuan件jian對dui被bei控kong對dui象xiang進jin行xing檢jian測ce
，可ke消xiao除chu從cong電dian機ji到dao被bei控kong單dan元yuan整zheng個ge機ji械xie傳chuan動dong鏈lian中zhong的de傳chuan動dong誤wu差cha，獲huo得de較jiao高gao的de靜jing態tai定ding位wei精jing度du。

　　但是，在整個控製回路中，許多機械傳動環節的摩擦特性、剛度和間隙是非線性的
，整個機械傳動鏈的動態響應時間(與電氣響應時間相比)非常大，使得整個閉環係統穩定性校正比較困難，係統的設計和調整也比較複雜。其結構圖如下圖所示。